単位数/Credit(s): 2.00単位. 担当教員/Instructor: 坂下 徳美、渡嘉敷 健. 年度: 2025. 開講言語/Language of Instruction: 日本語.
2025年度後期
Google Classroomのクラスコードは工学部Webページにて確認すること。
学部シラバス・時間割(https://www.eng.tohoku.ac.jp/edu/syllabus-ug.html)
目的・概要
本講義は、幅広く半導体業界を俯瞰できる人材の育成を目的とする。
半導体は、現代のほぼすべての産業における基盤技術であり、様々な技術要素が含まれる。また、半導体を取り巻く市場も様々であり、変化も激しい。
本講義では、基礎原理から材料、設計、製造装置、製造設備、製造プロセス、評価・分析など技術バリューチェーンに沿って、基礎技術を学び、また半導体市場の構造と動向についても学ぶことで、半導体メーカーだけでなく、半導体を取り巻くあらゆる市場においても活躍できる人材の育成を目指す。
達成目標
・半導体技術バリューチェーンごとの役割と重要性、基礎となる技術について一通り理解する。
・自身の専門分野と周辺分野との関連性や、融合について、より広い理解を得る。
The class code for Google Classroom can be found on the Web site of the School of Engineering:
https://www.eng.tohoku.ac.jp/edu/syllabus-ug.html (JP Only)
This course aims to develop human resources with a broad overview of the semiconductor industry.
Semiconductors are a fundamental technology in almost all modern industries and include a wide range of technical elements. Furthermore, the market surrounding semiconductors is diverse and undergoes rapid change.
In this course, students will learn basic technologies along the technology value chain, from basic principles to materials, design, manufacturing equipment, manufacturing processes, evaluation and analysis, as well as the structure and trends of the semiconductor market, with the aim of developing human resources who can thrive not only in semiconductor manufacturers but in all markets surrounding semiconductors.
-To gain a general understanding of the role and importance of each component in the semiconductor technology value chain, as well as the underlying technologies.
-To gain a broader understanding about the relationship and fusion between your own field of expertise and related fields.
・本講義は、13回の講義ならびに1回の演習を行い、15回目に半導体製造装置メーカーの工場見学(2026年2月3~5日のいずれか)を予定する。
This course will include 13 lectures, 1 practical session, and the 15th session being a factory tour of a semiconductor manufacturing equipment manufacturer (either February 3rd or 5th, 2026).
第1回
・半導体を取り巻く技術とは
・技術バリューチェーンに沿って、必要な技術の種類について学ぶ
第2回
・材料技術概論1
・前工程に使われる既存材料を学ぶほか、新材料開発の必要性と方向性について学ぶ
第3回
・材料技術概論2
・主に後工程に使われる既存材料を学ぶほか、新材料開発の必要性と方向性について学ぶ
第4回
・設計技術概論1
・半導体設計に関する幅広い技術を2回に分けて分野ごとに学ぶ
第5回
・設計技術概論2
・半導体設計に関する幅広い技術を2回に分けて分野ごとに学ぶ
第6回
・製造プロセス概論1
・半導体製造プロセスに関する幅広い技術を2回に分けて分野ごとに学ぶ
第7回
・製造プロセス概論2
・半導体製造プロセスに関する幅広い技術を2回に分けて分野ごとに学ぶ
第8回
・評価・分析概論1
・半導体の特性分析装置や評価装置などの種類や用途について学ぶ
第9回
・評価・分析概論2
・半導体の特性分析装置や評価装置などの種類や用途について学ぶ
第10回
・半導体市場の構造と動向
・半導体市場の構造と最新の動向について幅広く学ぶ
第11回
・半導体製造を支える装置技術1
・半導体製造装置の種類や役割、用途などについて学ぶ
第12回
・半導体製造を支える装置技術2
・半導体製造装置の技術を分野毎に分けて深堀する
第13回
・半導体製造を支える装置技術3
・半導体製造装置の技術を分野毎に分けて深堀する
第14回
・まとめと試験
第15回
・半導体製造装置メーカー見学
・学んだ技術を実際に見ることで、スケール感などを体得する
Session 1
・Overview about technologies surrounding semiconductors manufacturing.
・Learn about the types of technologies required along the semiconductor technology value chain.
Session 2
・Introduction to technologies of semiconductor materials 1.
・Learn about existing materials used in the front-end process, as well as the necessity and direction of new material development.
Session 3
・Introduction to technologies of semiconductor materials 2.
・Learn about existing materials used mainly in the back-end process, as well as the necessity and direction of new material development.
Session 4
・Introduction to semiconductor design technology 1.
・Learn about a wide range of technologies related to semiconductor design, divided into two sessions, by field.
Session 5
・Introduction to semiconductor design technology 2.
・Learn about a wide range of technologies related to semiconductor design, divided into two sessions, by field.
6th session
・Introduction to semiconductor manufacturing process 1.
・Learn about a wide range of technologies related to semiconductor manufacturing processes in two sessions, by field.
7th session
・Introduction to semiconductor manufacturing process 2.
・Learn about a wide range of technologies related to semiconductor manufacturing processes in two sessions, by field.
8th session
・Introduction to semiconductor evaluation and analysis 1.
・Learn about the types and uses of semiconductor characteristic analysis equipment and evaluation equipment.
9th session
・Introduction to semiconductor evaluation and analysis 2.
・Learn about the types and uses of semiconductor characteristic analysis equipment and evaluation equipment.
10th session
・Structure and trends of the semiconductor market.
・Learn about the structure of the semiconductor market and the latest trends in a wide range of areas.
11th session
-Equipment technologies supporting semiconductor manufacturing 1.
-Learn about the types, roles, and uses of semiconductor manufacturing equipment.
12th session
-Equipment technologies supporting semiconductor manufacturing 2.
-Digging deeper into semiconductor manufacturing equipment technology by field.
13th session
-Equipment technologies supporting semiconductor manufacturing 3.
-Digging deeper into semiconductor manufacturing equipment technology by field.
14th session
-Review and examination.
15th session
-Visiting a semiconductor equipment manufacturer.
-Visting assembly sites of the manufacturing tools and learning how semiconductor industry looks like.
・授業中に勉強した内容を復習し、講義内での小テスト等に向けて準備をすること。
-Students are expected to review what they have learnt and prepare for short tests to be performed in the class periodically.
・講義内での小テストの結果と第14回のテストの結果、そして出席率で総合的に評価する。
Evaluation is performed comprehensively based on short tests, an examination in 14th session, and the attendance rate.
クラスルームで連絡可能。
〇
2回または3回の小テストを実施する。